隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,為了使用方便和真空工藝過程的需要,將各種真空泵按其性能要求組合起來,以機組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,
隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求,處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示“差”的意思。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
按電動機標牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。對于有冷卻水的真空泵,按規(guī)定接通冷卻水。真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠,對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小真空泵可采用真空膠管連接,
蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。