蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。
為了使用方便和真空工藝過(guò)程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。
處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度，通常用“真空度高”和“低”來(lái)表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，
結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。
真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個(gè)很大的范圍，
檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時(shí)間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
為了使用方便和真空工藝過(guò)程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)式真空泵得到廣泛的應(yīng)用。眾所周知，由于水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用維修方便的特點(diǎn)，因而在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。眾所周知，由于水環(huán)真空泵和水環(huán)壓縮機(jī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用維修方便的特點(diǎn)，因而在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。
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