真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到真空有一個很大的范圍,真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平,泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。
檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏??紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制,轉(zhuǎn)子裝配方便,泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便,潤滑機構(gòu)也相對復(fù)雜。
蒸發(fā)離子泵:泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上,以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。立式結(jié)構(gòu)的進、排氣口水平設(shè)置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的較高,在高速運轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。
真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。為了使用方便和真空工藝過程的需要,將各種真空泵按其性能要求組合起來,以機組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。