真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。低溫泵：利用低溫表面捕集氣體的真空泵。有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。
真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，
隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。
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